激光分子束外延系统

作者: 时间:2021-11-15 点击数:

 仪器名称:激光分子束外延系统

仪器型号PAC-LMBE  

生产厂商日本Pascal公司  

主要用途:配有反射高能电子衍射仪(RHEED),可实现氧化物或金属薄膜的外延生长,仪器真空度可达 2 × 10-9 Torr 以下,激光加热系统可达1200 °C  


功能材料物理与化学教育部重点实验室 

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